YJJ Unamplified (mV) microbridge gás sensor de fluxo de massa AWM42150VH
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Faixa de medição ±25sccmm/s linearidade de 0,5% tensão de saída de 8,5 V Uma série de AWM
AWM40000 série gás sensor de fluxo de massa, unamplified (mV), de fluxo/faixa de pressão: ±25.0 SCCM; tipo de Interface: múltiplas.
operação
O princípio de funcionamento de microbridge gás sensor de fluxo de massa é a transferência de calor.O gás de fluxo de massa é guiada através da superfície do elemento de detecção.A tensão de saída é proporcional à massa de ar ou de outros gases que fluem através de entrada e de saída do pacote.Um especialmente projetado habitação dirige e controla o fluxo de ar através do micro-estruturadas elemento de detecção.A embalagem é mecanicamente projetado para facilidade de montagem em uma placa de circuito impresso.
O microbridge gás sensor de fluxo de massa contém um único chip de silício com uma avançada microestrutural tecnologia.O chip adota filme fino e adiabática estrutura da ponte, incluindo o aquecedor e a temperatura do elemento de detecção.A estrutura da ponte pode rapidamente e sensibilidade responder ao ar ou de outros fluxos de gás flui através do chip.Dupla detecção de elementos em ambos os lados do elemento de aquecimento central, também, indicar a direção e a velocidade do fluxo de ar.Laser modificado espesso e de filme fino resistências garantir consistente intercambialidade de sensor para sensor.
Microbridge gás sensor de fluxo de massa utiliza a resistência térmica envolto em nitreto de silício de filme.Estas resistências são suspensos, formando duas Pontes sobre o acondicionamento da câmara de chip de silício.O chip é colocado em uma especificação de fluxo de canal para fornecer um fluxo repetitivo response.By condicionamento da cavidade sob o fluxo de detecção ponte, o aquecedor e a detecção de resistor pode atingir uma eficiente isolamento térmico.O pequeno tamanho e isolamento térmico função do micro-ponte de gás sensor de fluxo de massa atingir a resposta rápida e alta sensibilidade ao fluxo de ar.
Wheatstone ponte dupla controle de fluxo de ar de medição - one oferece malha fechada aquecedor de controle e o outro contém dupla de elementos sensores.O aquecedor de circuito reduz a saída de variação causada por alterações da temperatura ambiente, fornecendo uma saída proporcional à taxa de fluxo de massa.Este circuito mantém a temperatura do aquecedor a uma temperatura constante diferença acima da temperatura ambiente (160 °C), medida pela resistência térmica do chip.A saída do dispositivo é proporcional à tensão de alimentação e também corresponde ao diferencial de tensão do circuito de ponte de Wheatstone.
Preste atenção ao
Para minimizar o impacto da poluição da poeira que pode ocorrer em algumas aplicações.As partículas de poeira que podem estar presentes no fluxo de ar, são projetados para atravessar o chip paralelo à superfície.Além disso, a transferência térmica, efeito produzido pela microchip pode remover a micron partículas de poeira da estrutura da ponte.
Um simples filtro pode ser usado para impedir que a poeira aderir ao chip de borda e o canal de superfície.Na maioria das aplicações, suficiente a filtragem pode ser feito simplesmente conectando um descartáveis cinco mícron filtro em série, a montante do fluxo de ar da unidade.
Características do produto
Precisão de silício micromaquinação
Sensível a baixas taxas de fluxo de 0,1 SCCM 20 SLPM
Adequado para alta vazão
Rápido tempo de resposta
Saída analógica
Baixo consumo de energia
Repetitivo resposta
O laser é intercambiável após o ajuste fino
Precisas e econômicas, o fluxo de detecção
Única linha do PWB de terminal
Padrão de 2,54 mm (0.100 em) espaçamento do furo de montagem
0,001 em.Para 4.0.H2O (0.003 10 mbar) Baixa pressão diferencial precisos de detecção
Campo de aplicação
Amortecedor de controle para aquecimento, ventilação e sistemas de ar condicionado
Analisador de gás
Baixo vácuo de controle
Controle de processo
Médico ventilador de teto e um espirômetro
Gerador de oxigênio
Detector de vazamento
Coifa de ventilação
Anestesia controle
Medição de gás
Cromatógrafo a gás
sku: c112912
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